Описание:

Установка нанесения фоторезиста спреем SAWATEC iSpray-300 идеальный инструмент с ручной загрузкой, особенно в НИОКР-подразделениях и небольших производствах МЭМС. Система позволяет наносить фоторезист на поверхность глубокой развитой топологии. Специальная форсунка гарантирует минимальные размеры капли резиста, обеспечивая однородное покрытие по всей площади подложки.

Для круглых подложек до 300 мм (максимально) и квадратных подложек 12 x 12 дюймов.

 

Основные возможности:

• Процесс контроллер с сенсорной монохромной панелью 3,5 дюйма
• Задаваемые параметры: Поз. X; Y; время (сек.), время распыления (сек.), скорость по X и Y координатам
• Запуск процесса нажатием клавиши "старт" или через сенсорную панель управляющего ПО
• До 50 рецептов (зависит от размера каждого рецепта)
• До 24 шагов в каждом рецепте
• Внутренняя рабочая камера с габаритами 400x400 мм
• Закрытая рабочая зона
• Электр. управляемая рука с форсункой, с возможностью выбора скорости по X и Y
• Выбор геометрии рецепта: круглые и квадратные подложки
• Форсунка Micro 3 (0,3 мм Форсунка)
• Контроллеры управления сжатым воздухом и вакуумом
• Загрузка подложек: ручная

 

Доступные опции:

• Нагреваемый стол до 150°C
• Центрифуга со скоростью вращения до 6'000 об/мин.
• Центрифуга с нагреваемым столом, скорость вращения до 1'500 об/мин. и нагрев до 150°C

 

Установку можно сконфигурировать для одной подложки с различными столами:

1. Обычный стол
2. Стол с центрифугой. Это позволяет распылять не только по X и Y, но и в любом направлении.
3. Стол с центрифугой и нагревом. Это позволяет и распылять, и сушить за один цикл.

 

Геометрия перемещения распыления:

 

Основные функции:

Область распыления:	400x400 mm
Объем распыления:	Прибл. 100 мл для одного цикла
Вязкость резиста:	0.3 to 25cSt (μPas)
Сопло:	Размер капли >7 микрон
Управление:	Контроллер с сенсорной панелью. До 50 рецептов с 24 шагами в каждом.

 

Требования к подключению:

•  Электричество: 230 VAC 50/60Hz, 10A
•  N2 для распыления:  Ø 6/4mm
•  Сжатый воздух: Ø 6/4mm (6 bar)
•  Подключение вытяжки: Ø 125mm (260m3/h)
•  Температура окружающего воздуха: +4 ... +60°C

Размеры и вес:

• 85x75x221cm (Ш/Д/В)
• 220 кг

 

Дизайн:

•  Корпус: Рама из нержавеющей стали
•  Рабочая чаша: Нержавеющая сталь
•  Двери:Стекло для наблюдения за процессом

Габариты:

 

Комплектующие:

• Прецизионные дозирующие помпы Sawate