Решение для измерения остаточных напряжений в тонких плёнках
В случае, когда плёнка подвергается усилию растяжения-сжатия, тестер измеряет коэффициент деформации тонкопленочной структуры, и вычисляет остаточное напряжение.
Предостережение
Диапазон закругления | 2 м ~ 100 м |
Диапазон измерений | 60 МПа ~ 10 ГПа |
Разрешающая способность | 10МПа |
Диапазон погрешности | < 10% |
Максимально сканируемая длина | 30 мм |
Минимальный шаг сканирования | 0.2 мм |
Толщина подложки | 100 мкм ~ 800 мкм |
Толщина покрытия | 0.05 мкм ~ 10 мкм |
Ход этапа сканирования | 30 мм |
Разрешение этапа сканирования | 25 мкм |
Ход этапа нагрузки | 140 мм |
Разрешение на этапе нагрузки | 0.5 мм |
Скорость измерений | 0.02 мм/с |
Размеры тестируемого образца | 40 мм[длина] x 4 мм[ширина] |
Характеристики PSD датчика | 5 мкм |
Размеры устройства | 500[Ш] x 500[Д] x 500[В] мм |
Вес | 30 кг |
Потребляемая мощность | 150 Вт |